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详解碳化硅晶片的磨抛工艺方案 - 知乎
2023年4月28日 研磨工艺是去除切割过程中造成碳化硅晶片的表面刀纹以及表面损伤层，修复切割产生的变形。 由于SiC的高硬度，研磨过程中必须使用高硬度的磨料（如碳化硼或
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半导体碳化硅(SiC) 关键设备和材料技术进展的详解； - 知乎专栏
2024年2月18日 SiC衬底减薄. 研磨设备通常被用于对 SiC 衬底和 SiC 晶圆进行减薄，由于 SiC 材料硬度较高，需采用专用研磨液，设备也需要做相应调整。SiC研磨机主要技术难点
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浅谈碳化硅抛光方法
2021年2月27日 微观形状为6字晶体，碳化硅的莫尔斯硬度为9.2，魏氏显微密度硬度为3000-3300KG/MM2，努夫硬度为2670-2815KG/MM，显微镜也为3300kg/mm3。. 在磨料
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2025市场达200亿，碳化硅关键设备企业迎历史机遇 - 知乎
2023年11月12日 图源：北方华创. 切割是碳化硅衬底制备的首要关键工序，决定了后续研磨、抛光的加工水平，成本能占到50%以上，这是因为碳化硅属于硬质材料，硬度仅比金刚
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超声振动辅助研磨单晶碳化硅晶片工艺研究
2021年12月9日 Citation: HAO Xiaoli, YUAN Zewei, WEN Quan, GUO Shengli. Process research on ultrasonic vibration assisted lapping of single crystal silicon carbide [J]. Diamond Abrasives Engineering, 2022, 42
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碳化硅双面研磨工艺流程_百度文库
1. 材料准备. 需要准备碳化硅材料。 根据具体需求，选择合适尺寸和形状的碳化硅块，并进行必要的清洗和干燥处理。 2. 研磨液配制. 研磨液是碳化硅双面研磨过程中的重要组成部分
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碳化硅研磨机使用注意事项详解-岱美仪器技术服务（上海 ...
2024年2月29日 通过上述对碳化硅研磨机使用注意事项的详尽描述，我们可以看出，从环境的预备到设备的检查，再到操作的规范性，以及后续的维护保养，每一个环节都是确保研
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碳化硅的制备及应用最新研究进展 - ResearchGate
2022年5月20日 碳化硅具有强度大、硬度高、弹性模量大、耐磨性好、导热性强和耐腐蚀性好等优异性能,被广泛地应用于磨料磨具、陶瓷、冶金、半导体、耐火材料等领域。 常用
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碳化硅研磨盘在耐磨领域中的应用 - 知乎
2022年8月15日 碳化硅材料具有硬度大、耐磨损、弹性模量高等特性，目前，国内碳化硅冶炼及粉体主要用于耐火材料、磨料磨具、精细陶瓷的SiC粉体等。 研磨盘主要应用于高速
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为什么碳化硅要用外延，而不是直接切一片厚的晶圆？ - 知乎
2023年8月19日 78,276. 15 个回答. 默认排序. 问即人生. 道不同者，不相与谋也. 因为碳化硅的键能太大了，导致不能通过熔融的办法直接结晶出碳化硅晶锭。 高键能的东西一般都
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详解碳化硅晶片的磨抛工艺方案 - 知乎
2023年4月28日 碳化硅衬底的加工主要分为以下几个工序，切割，粗磨，精磨，粗抛，精抛（CMP）。. 1.切割. 切割是将SiC晶棒沿着一定的方向切割成晶体薄片的过程。. 将SiC晶棒切成翘曲度小，厚度均匀的晶片，目前常规的切割方式是多线砂浆切割. 2.研磨. 研磨工艺是去除
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研磨碳化硅能用卧式设备吗
研磨碳化硅能用卧式设备吗 年产6000吨太阳能基板研磨用绿色碳化硅微粉项目 一、项目名称年产6000 吨太阳能基板研磨用绿色碳化硅微粉项目二、项目前景及市场分析绿碳化硅微粉是国计民生不可缺少的工业产品，广泛应用于航天、电子、陶瓷、耐火材料 ...
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研磨碳化硅能用卧式设备吗
研磨碳化硅能用卧式设备吗 2022-04-06T22:04:13+00:00 技术碳化硅产业链条核心：外延技术 知乎 知乎专栏 技术碳化硅产业链条核心：外延技术 碳化硅功率器件与传统硅功率器件制作工艺不同，不能直接制作在碳化硅单晶材料上，必须在导通型单晶衬底上额外生长高质量的外延材料， 衬底表面加工质量的 ...
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研磨碳化硅能用卧式设备, 江西莲花县XB-1000搅拌桶
研磨碳化硅能用卧式设备, 江西莲花县XB-1000搅拌桶 2023-10-07T22:10:12+00:00 1043 导读: 研磨碳化硅能用卧式设备研磨碳化硅能用卧式设备 欢迎来到黎明重工科技网站！ 销售热线： 首页 关于黎明 产品中心 细化式实验室卧式砂磨机_搅拌釜_乳化泵_ 上海壹 ...
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研磨碳化硅能用卧式设备吗
研磨碳化硅能用卧式设备吗 2022-04-06T22:04:13+00:00 技术碳化硅产业链条核心：外延技术 知乎 知乎专栏 技术碳化硅产业链条核心：外延技术 碳化硅功率器件与传统硅功率器件制作工艺不同，不能直接制作在碳化硅单晶材料上，必须在导通型单晶衬底上额外生长高质量的外延材料， 衬底表面加工质量的 ...
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碳化硅设备行业深度报告：多技术并行，衬底切片设备加速 ...
2023年4月26日 1）碳化硅切割设备方面：国内首款高线速碳化硅金刚线切片机 GCSCDW6500可获得和砂浆切割相同的晶片质量，同时大幅提升切割效率， 显著降低生产成本，行业内独家实现批量销售，实现国产替代，同时公 司已推出适用于 8 寸碳化硅衬底切割的碳化硅金刚线
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硅藻土加工设备工作原理, 研磨碳化硅能用卧式设备
硅藻土加工设备工作原理, 研磨碳化硅能用 卧式设备 2022-09-30T04:09:35+00:00 硅藻土加工设备工作原理 矿山机械知识 硅藻土加工设备工作原理，硅藻土设备的特点是动锥压缩行程从给料口到排料口是逐渐减小的这样压缩行程有促进排料作用而且不存在偏心 ...
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为什么碳化硅要用外延，而不是直接切一片厚的晶圆？ - 知乎
2023年8月19日 在国产外延设备方面，北方华创、晶盛机电等企业开始小批量生产碳化硅外延设备，且当下存在发展的良机。一是目前国内外延片的制备受限于设备交付环节（疫情等原因），无法快速放量，主流碳化硅高温外延设备交付周期普遍在1.5-2年以上。
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浅谈碳化硅抛光方法
2021年2月27日 该方法的主要优点是不需要复杂的设备，可以研磨形状复杂的工件，同时还可以研磨很多工件，效率很高。化学研磨的核心问题是研磨液的搭配。 五、超声波抛光：将工件放入黑碳化硅悬浮液中，一起放置在超声波场中，依靠超声波振动在工件表面研磨。
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2025市场达200亿，碳化硅关键设备企业迎历史机遇 - 知乎
2023年11月12日 综合来看，国内碳化硅关键设备产业已经逐步发力，大部分设备类型都已有国产替代方案，在碳化硅产业爆发的情况下，未来碳化硅设备市场也将不断增大，预计此轮利好将持续2-3年，在此期间碳化硅设备需求将持续增长，将为国内设备厂商带来巨大的发展
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半导体碳化硅(SiC) 关键设备和材料技术进展的详解； - 知乎专栏
2024年2月18日 半导体碳化硅 (SiC) 关键设备和材料技术进展的详解；. 爱在七夕时 . 东莞南方半导体科技有限公司 品质主管. 从SiC衬底、外延、芯片到模块,涉及单晶、切磨抛、外延、离子注入、热处理等关键装备,随着整体市场的蓬勃发展,设备需求迎来了机遇期。. 一、SiC 单
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碳化硅能做CPU吗? - 知乎
2019年9月19日 碳化硅不适合做CPU，但是可以做CPU散热器。 碳化硅是因高击穿场强、应高压应用而成，如果哪天要做600V级别的CPU，倒是不错的选择。 CPU是高速逻辑器件， 快与成本 是它需要平衡的两个基本指标，因为CPU速度越快，内核工作电压越低，可以在不增加电场强度下，缩短电子迁移距离。
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砂磨机研磨介质的介绍，选择以及对研磨效率的影响 - 知乎
2023年10月26日 1. 砂磨机研磨介质的介绍. 砂磨机最早使用的研磨介质是天然砂子，在国外直到现在还有使用天然砂子的。. 这种天然砂子是经过筛选过的，早期的文献介绍选用20～40目的较好。. 国内外最近发表和推荐的砂子直径则大都在0.3～3.0mm范围内。. 同球磨
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巩义酸洗石英砂设备厂, 研磨碳化硅能用卧式设备
2013年7月26日 碳化硅加工设备 碳化硅又称金刚砂或耐火砂，用石英砂、石油焦（或煤焦）、木屑（生产绿色碳化硅时需要加食盐）等原料在电阻炉内经高温冶炼而成。炼得的碳化硅块，经破碎、酸碱洗、磁选和筛分或水选而制成各种粒度的产品。
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浅析国产碳化硅外延炉设备 - 知乎
2024年1月17日 浅析国产碳化硅外延炉设备. 受益于碳化硅下游市场需求逐步放大，国内多个碳化硅外延项目发布了扩产和新建开工的计划：. 一代工艺一代设备，外延生长在SiC器件制造成本中占比超20%，SiC外延炉是 第三代半导体 SiC器件制造的核心装备之一。. 下游市
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碳化硅球磨机-碳化硅研磨设备厂家-河南红星机器
2022年7月23日 碳化硅球磨机易损件磨辊磨环均采用用高烙材料取代了原高锰钢，其使用寿命为原高锰钢的3~5倍，提高了设备的可靠性。. 另外，磨辊装置可实现1000小时加注一次润滑脂。. 另外，更换磨环不用拆除磨辊装置，维护更方便。. 对碳化硅的适应性强. 碳化硅球磨
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实验室用高能行星式球磨机 超细研磨 高能量-MITR米淇科技
实验室用高能行星式球磨机是在同一转盘上装有四个球磨罐，当转盘转动时，球磨罐在绕转盘轴公转的同时又围绕自身轴心自转，作行星式运动。. 罐中磨球在高速运动中相互碰撞，研磨和混合样品。. 该产品能用干、湿两种方法研磨和混合粒度不同、材料各异的 ...
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卧式球磨机_百度百科
卧式球磨机是一种比较老的常规型球磨机，由一个水平放置并能旋转的圆筒和放在筒中的一些球组成的。圆筒一般是钢制的，也有为特殊需要而用瓷、石等材料作内衬的；球也是这样，有钢制和瓷制的，甚至有采用鹅卵石的。需要研磨的磨料连同球一起在圆筒中旋转，由于球的作用，墨料便被粉碎和 ...
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碳化硅的具体应用有哪些？在炼钢铸造中使用碳化硅一定不能 ...
2021年2月19日 碳化硅的原料可以大量供应，不能视为高科技产品，技术含量极高的纳米碳化硅粉末的应用不能在短时间内形成规模经济。（1）作为研磨剂，可以用作研磨工具，例如砂轮，油石，研磨头，砂瓦等。（2）作为冶金脱氧剂和耐高温材料。
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一文看懂磷酸铁锂纳米化优势 —— 琅菱智能纳米研磨之磷酸 ...
2020年5月18日 研磨筒体采用双层夹套结构，外层胆体是冰水循环，外筒体采用 SUS304 材质，内筒体为碳化硅材质，碳化硅莫氏硬度达到9.1，略低于金钢石，导热性好，是 不锈钢的6倍，可快速带走研磨腔内的热量；棒销采用氧化锆材质，耐磨性好、并确能保 无金属污染。
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